中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293657242 を販売中
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ID: 293657242
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
(1) Coater / (1) Developer system, 8"
Dual block
Coater: (4) Nozzles
Developer: Stream nozzle
Wafer flow: Left to right (CSB Unit left side and interface station right side)
Tank auto switch
Block 1:
FC-9821Ke Controller
Stage / indexer: Cassette station
Cassette Station Arm (CSA)
Block 2:
Normal photo resist coater 2-1:
(4) Photoresist dispense nozzles per coat unit
(4) Photoresist dispense nozzles and Iwaki Resist pump per coater
Side rinse nozzle (Programmable)
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、半導体デバイスのリソグラフィに使用されるフォトレジストシステムです。フォトレジストは、光を選択的に透過させることで基板上にパターンを形成するために使用される材料です。TEL MARK8ユニットは、プロジェクターを使用してフォトレジストを紫外線にさらし、不要な材料を溶解するプロセスチャンバーを使用します。TOKYO ELECTRON MARK-8は、露光ヘッドとプロセスチャンバーの2つのパーツを搭載したモジュラーマシンです。露光ヘッドには、UV感光ツールを搭載したプロジェクターが内蔵されています。投影パターンの正確で正確な向きとサイズで、短い紫外線パルスを届けることができます。アセットのもう1つのコンポーネントであるプロセスチャンバーは、露光後にフォトレジストを溶解するように設計されています。チャンバーは加熱され、フォトレジストを溶解する触媒として機能する化学溶液で満たされます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8モデルは、異なる温度で異なる基板を加工するように調整することもでき、さまざまな半導体製造プロセスでの使用に最適です。TEL Mark 8はユーザーフレンドリーで、パターニングプロセスを正確に制御できます。シンプルなコントロールパネルにより、投影パターンのサイズ、向き、パルス強度を素早く調整できます。また、プロセスを簡単に繰り返すことができ、大量のICを迅速かつ正確に生成することができます。TOKYO ELECTRON MARK8フォトレジストシステムは、リソグラフィープロセスのための信頼性が高く、強力で正確なツールです。シンプルな制御とユーザーフレンドリーな設計により、ユーザーは素早く正確に基板をパターン化することができ、あらゆる半導体製造設備にとって非常に貴重な資産となります。
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