中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293626805 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8フォトレジスト装置は、半導体回路部品の製造に使用されるリソグラフィーシステムです。それは統合された制御、高度の診断および監視、および各生産との正確さそして再現性を保障する高度のオートメーションユニットが装備されています。このマシンは、ツールパラメータを簡単に操作できるユーザーインターフェイスを備えています。このアセットは、フォトレジスト材料（特にフォトレジストフィルム）を紫外線にさらすように設計されています。このプロセスは、ファインラインリソグラフィ用のデバイスのイメージングとエッチングによく使用されます。また、露出時にウェーハを水平に整列させ、良好なデバイスの歩留まりを高めるように設計されたマスクレスアライメントモデルもあります。TEL MARK8フォトレジスト装置は、2。3ミクロン〜3。8ミクロンの高い光学分解能を有し、フォトレジストフィルムの特長を高精度に露出させます。また、8倍速または高速でデバイスをパターン化することができ、処理時間を短縮することができます。それはまた6インチおよび8インチのウエハサイズを支えることができます。システムには、ユニット外の欠陥または周囲条件を記録するためのパーティクルディテクタもあります。これは、その性能を維持し、ユニットの寿命を延ばすために行われます。また、露出を最小限に抑えるための特別な光学系を備えており、露出中のフィルムの汚染を防ぎます。TOKYO ELECTRON MARK-8 Photoresist Machineには、レンズの焦点距離を自動調整してパフォーマンスを向上させるために特別に設計されたオートフォーカス工具もあります。また、自動投与機構を備えており、基板の各層の放射線量を自動的に調整します。これにより、各層の基板に適切な量のエネルギーが適用されます。また、高精度なウエハステージと高度なソフトウェアツールを備え、再現性と信頼性の高いパフォーマンスを実現しています。これにより、製造結果が一貫した再現性が確保され、半導体デバイスを製造する重要なプロセスに対してより高いレベルの信頼性が得られます。全体として、Mark 8 Photoresist Modelは半導体業界のリソグラフィープロセスに最適なツールであり、生産ラインに優れた精度と再現性を提供します。