中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 3C #9290536 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8 3Cは、TELが半導体デバイス製造に使用するフォトレジスト機器です。このシステムは、フィルムアプリケーターと開発者の両方であり、半導体ウェーハ上のフォトレジストパターンを生成するために使用されます。このユニットには、プロセスを通してウェーハを導くために使用されるステッパーが装備されています。ステッパーには、プロセス中にウェーハの正確な位置を確保するためのアライメント・チャックが装備されており、レチクルからアライメント情報を転送するように構成されています。露光時間は必要に応じて変化し、選択したモデルでスキャンミラーを使用して生産性を向上させることができます。この機械には、使用されている特定のレジスト化学に合わせたガス供給ツールが内蔵されています。レジスト除去用の窒素や六フッ化硫黄などの不活性ガスやプラズマ洗浄用の酸素を供給することができます。このアセットは、ガラス、石英、金属などの他のフォトマスク基板の加工にも使用できます。このモデルは、フォトレジストをウェーハ表面に適用するために使用されるCRロータリーアームを内蔵しています。このアームは、フォトレジストで覆われたウェーハの均一なカバレッジを実現しながら、レジスト材の塗りつぶしやプーリングを回避することができます。それはモーターを備えられた調節および精密マイクロ投薬ポンプが付いているフォトレジストの広い範囲と互換性があります。また、ウェーハ処理を制御および監視するためのPhotoMasterコントローラも備えています。コントローラは、半自動と全自動の両方の操作を実行し、プロセスレシピを保存することができます。PhotoMasterコントローラは、露出線量を測定および表示することもできます。TEL Mark 8 3Cフォトレジストシステムは、半導体デバイスの安定したコスト効率の高い製造を可能にする、高精度、高スループットフォトマスクパターニングのための高度で信頼性の高いツールを提供します。フォトマスク製造の過程で貴重なツールです。