中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 2D #9290537 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 2Dフォトレジスト装置は、様々な基板上の集積回路の基礎となるパターンや構造を作成するために使用される化学、機械、光学システムです。このユニットには、複数の露出層と、それが作成するパターンの微細な構造に対する複数のレベルの制御を作成する機能が装備されています。機械の中心にはUVレーザーイメージャがあり、基板表面を超精密に変化させることができます。レーザーイメージャとプログラム可能な位相シフトマスクが組み合わされており、基板上のレジスト材料のエッチングと蒸着を制御できます。これらのコンポーネントを組み合わせることで、フォトレジストツールを使用して、基板表面に形成されるパターンのジオメトリを正確に制御できます。TEL Mark 8 2D Photoresist Assetは、パターニングプロセスの制御をさらに最大化するために、接触近接顕微鏡と全面パターンインスペクターという2つの精密計測システムを組み込んでいます。これにより、オペレータは、フォトレジストパターニングプロセスの完了前、途中、および完了後の効果を正確に確認できます。さらに、このモデルには、より高いレベルのディテールを作成したり、表面を選択的に硬化させるために、物理的な処理または個別または複数の異なる材料を使用することによって、追加のレジスト層を表面に堆積させる機能が含まれています。これにより、単純な線や曲線から複雑なパターンやデバイスに至るまで、複雑さの度合いの異なる構造を生成することができます。さらに、東京エレクトロンマーク8 2Dフォトレジスト装置には、パターンジオメトリブローカーとキネマティックモデラーも含まれており、どちらもフォトレジストパターニングプロセスの変換とレンダリング面を高いレベルで制御することができます。また、3Dモデラーにより、オペレータは短時間で複数の複雑なパターンを作成することができます。最終的に、マーク8 2Dフォトレジストシステムは、高精度の複雑なパターンの広い範囲を生成することができる包括的で信頼性の高いユニットです。機械、化学、および光学部品の組合せによって、機械はオペレータに回路設計のための望ましいパターンの作成の最終的な制御を与えることを確実です。