中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9410903 を販売中

ID: 9410903
Coater / Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 Photoresist Equipmentは、産業用および学術用に設計された最先端のフォトレジストシステムです。このユニットは、マイクロエレクトロニクスデバイスの高効率生産を可能にします。TEL MARK7機は、先進的なレンズ設計、3D投影光学、最大70mmの基板をサポートできる広いアクティブ領域で構成されています。これにより、レジストブランケットにパターンを高精度かつ正確に印刷することができます。このツールの光学系は、数値絞りを拡張したクロマティックに補正されたメニスカスレンズ設計を特徴としています。これにより、薄いパターンを基板に印刷する際の収差を低減し、歪みを減らすことができます。アセットには、プロジェクターレンズに照明を提供するための狭い光ファイバモデルを備えた高出力レーザダイオードも装備されています。光エネルギーの吸収を高め、基板に印刷されたパターンの精度を高めます。TOKYO ELECTRON MARK-7装置は、幅広い基板サイズと厚さに柔軟に対応できるよう設計されています。アライメント機構により、無駄を最小限に抑えた正確なパターニングが可能です。垂直モジュールの高さを簡単に調整でき、1つの基板上に複数のパターンを配置できます。さらに、カメラシステムは印刷の品質に基づいて自動的に調整されます。最後に、単位は非常にモジュール式で、容易な取付けおよび維持を可能にします。直感的なユーザーインターフェイスと使いやすいフロントパネルで設計されているため、オペレータはバッチ実行を開始する前に、望ましい基板サイズと品質のマシンを素早くセットアップして校正することができます。Mark 7 Photoresist Toolは、産業用および学術用フォトレジストアプリケーションに信頼性の高い効率的なプラットフォームを提供します。その先進的な光学設計とレンズ設計、直感的なユーザーインターフェースと組み合わせることで、さまざまなサイズの基板にパターンを高精度かつ正確に印刷できます。カメラの自動アセット、モジュールの高さ調整、メンテナンスが容易な東京エレクトロンマーク7モデルは、高精度なフォトレジスト製造に非常に効果的なソリューションです。
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