中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9399016 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、半導体デバイスの製造用に設計されたフォトレジスト加工装置です。高精度で大量のフォトレジストパターンを作成するために使用されるコンパクトで高度に自動化されたツールです。プロセスは、基板にフォトレジストを適用することから始まります。これは水平スピンオンコーターによって行われ、ウェーハ表面のフォトレジストの均一なカバレッジを提供します。適用されたフォトレジストは、ホットプレートで焼き上げられ、基板上で確実に固定されます。フォトレジストシステムは、希望するパターンを含むフォトマスクで基板を照らします。特別な照明メカニズムはマスクの最適照射を保障し、プロセスを合理化します。最大の安定性と最適な画像精度のために設計された統合されたVUV照明器は、ユニットの重要な部分を表しています。基板を露出した後、特殊なタイプの溶剤を使用して不要なフォトレジストを洗い流します。これは通常、蒸発した炭化水素浴、RIE（反応イオンエッチング）として知られているプロセスを使用して行われます。次に、露出した洗浄基板を開発します。残りのフォトレジストは、独自の開発流体を使用して除去されます。このツールは、ウェーハの均一な開発を保証し、残留物の形成を排除するために校正されます。ウェーハを開発すると、乾燥モジュールに転送されます。このモジュールは活性乾燥プロセスを使用しており、表面のフォトレジストの均一かつ一貫した分布を可能にします。パターンを保存し、高収率を達成するために乾燥段階が必要です。TEL MARK7フォトレジスト加工資産は、高精度で高収率のナノレジストパターンを作成するための優れたツールです。信頼性と費用対効果が高く、最先端の技術を使用しているため、多くの半導体企業の標準ツールとなっています。