中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9364579 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、精密リソグラフィ用に設計された先進的なフォトレジスト機器です。TELが開発したフォトリソグラフィープロセスは、マイクロエレクトロニクス回路の製造に使用される精度と効率を高めるために特別に設計されています。このシステムは、フォトレジスト画像を基板に正確に露出させるために、高度なウエハスキャンユニットを使用して構築されています。これは、スキャナーヘッドを介して達成されます。ビームはスキャナーレンズのスリットを通して、フォトレジスト層を正確に露出させます。TEL MARK7は、光線の周波数と振幅を正確に制御する高性能な六角形の座標駆動機も備えています。さらに、フォトレジスト露光および開発プロセス中に基板を保護するための完全自動化されたツールを備えています。このアセットには、さまざまなアプリケーションのモデルをカスタマイズするために使用できるさまざまなオプションもあります。それは段階の傾き、露出時間、露出線量、スキャン速度、スキャン角度および基質のサイズおよびタイプの異なった構成と形成することができます。さらに、高度なスキャンデバイスやその他のモジュールを装備し、精度とスループットをさらに向上させることができます。最後に、TOKYO ELECTRON MARK-7は高い安全性を備えて設計されています。過剰露出を防ぐための自動安全機能を備え、包括的なアラームとインターロックを備えており、プロセスの安全性を確保しています。また、東京エレクトロンのグローバルサポートネットワークからメンテナンスとサポートを提供しています。全体として、MARK-7は精密リソグラフィープロセスの精度とスループットを向上させるように設計された高度なフォトレジスト装置です。高性能な六角形の座標駆動システムとカスタマイズ可能なオプションにより、さまざまなアプリケーションの要求に柔軟に対応できます。TEL/TOKYO ELECTRONのグローバルサポートネットワークでサポートされています。