中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9352784 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7フォトレジスト装置は、マイクロエレクトロニクス機器の製造に使用される最先端の高解像度フォトリソグラフィーツールです。高度なフォトリソグラフィを活用し、精密な電子回路を小規模に製造する生産品質ツールです。このシステムは、光学系、バックグラウンドライト露光、イメージパターニング技術の複雑な組み合わせを利用しています。幅350mm×奥行き350mmの基板チャックを備えており、処理用の試験片を静電的にバインドすることができます。また、広い温度範囲での加熱・冷却が可能なため、多様な基板加工における汎用性が最大限に発揮されます。Reticle Preview Correlative Analysis （RPCA）、 X-Y stage movement control、 Spin End、 Edge Treatment、 Post Exposure Bake （PEB）などのフロントエンド処理能力を備えています。これらの機能により、忠実度が高く、欠陥が最小限に抑えられたパターンイメージを確実に作成できます。TEL MARK7には、監視とデータ分析のための高度なソフトウェアもあります。まず、LSIMS （Laser Source Image Measurement Tool）を使用して、コンテキストに敏感な測定とリアルタイムのプロセス監視を行うことができます。また、Electro-Optical Calibration （EOC）も含まれており、光学モデルを校正することで資産の精度と信頼性を確保するのに役立ちます。さらに、残留画像解析（RIA）機能により、印刷された画像のマイナーエラーや欠陥を自動的に検出できます。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えているため、エラーなく効率的に操作できます。さらに、モジュラー設計により、生産ラインへの統合が容易になり、ダウンタイムを削減し、プロセスフローを改善します。TOKYO ELECTRON MARK-7は、他に類を見ない精度と精度で小規模電子部品や機能を製造できる信頼性の高いシステムです。