中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9352304 を販売中

ID: 9352304
System.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、微細加工用のウェーハを準備するスキャンフォトレジスト機器です。このツールは、半導体回路を作成するために表面層を提供するために不可欠であり、現代の電子デバイスの製造に特に有用となっています。TEL MARK7システムは通常、ウェーハにフォトレジストフィルムを堆積するために使用されます。このフォトレジスト層は、フォトリソグラフィ、エッチング、沈着などの後続の処理ステップに必要なパターンを定義するのに役立ちます。東京電子MARK-7装置は、コンピューター制御のスキャンスリット機構を採用し、フォトレジストをロールからウェーハ表面に転送します。光源は基板とフォトレジストを垂直に照らすために使用され、スリット機構は水平に動作し、フォトレジストをウェハ全体に均等に堆積させることができます。このプロセスは、フォトレジストの薄い層に対応するために最適化することができます。また、MARK7は統合されたビジョンマシンを備えており、ローカル欠陥を検出するためのスキャンだけでなく、さらなる制御を提供します。Mark 7のフォトレジストは、スリット機構の精度が優れているため、高精度です。これは、ウェーハ上の必要なパターンの均一性を確保するのに役立ちます。さらに、このツールは、広いスリットで高用量の精度を提供し、単一のノズル資産によって達成されるよりもフォトレジストのより正確な蒸着を可能にします。TOKYO ELECTRON Mark 7はウェーハの加工に効果的なソリューションです。その高度な技術は、正確なフォトレジストのカバレッジを保証し、優れた厚さ制御を提供します。これにより、高品質の半導体および電子デバイスの製造における均一性と精度が保証されます。
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