中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9244883 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7 （TEL MARK7）は、フォトリソグラフィーやその他のリソグラフィープロセス用に設計された世界クラスのフォトレジスト機器です。高度なモータ制御技術、熱的に制御されたプロセスヘッド設計、超精密光学、ユニークなウェハホルダー設計を組み合わせ、高精度で信頼性の高いシステムを構築します。このユニットは、統合されたローディング機能を備えており、ユーザーはウェーハを自動的にロードし、プロセス全体を監視することができます。TOKYO ELECTRON MARK-7は、リソグラフィ工程でレジストパターンを制御しながら、過剰な露出を検出して修正することができ、収率が高くなります。このマシンは、被写界深度による幾何学的歪み補正のための強力なアルゴリズムを備えており、最大2/1000の精度で画像評価を実行することができます。また、コーティング、アライメント、測定に高度なレーザースキャニングツールを使用しており、高い精度を実現しています。MARK-7には、群衆から際立っているいくつかの高度な機能があります。本アセットは、独自の高性能オプティクスを使用しており、他の従来システムよりも高い精度を実現しています。高度な3次元傾斜制御技術と最先端のサーボドライブを使用しているため、最高の精度で設計されています。東京エレクトロンマーク7にはパルスレーザービームエネルギー補正機能があり、内蔵のアクティブクーリングモデルを使用することで基板歪みを低減することができます。さらに、機器は、メンテナンスとアップグレード手順を簡素化するモジュラー設計を備えています。また、効率的かつ迅速な運用により、生産コストを最小限に抑えることで、システムの経済性を維持することができます。ユニットは持続するように構築されており、内蔵の診断により、ユーザーは障害が発生した場合に早期に警告されます。要約すると、Mark 7は他のシステムよりも多くの利点を提供するプレミアムフォトレジストマシンです。高度なモータ制御技術、精密光学、ウェーハホルダー設計により、精度と効率を向上させます。モジュール設計によりメンテナンスとアップグレードが容易になり、内蔵の診断機能によりツールの信頼性と寿命が向上します。