中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9244882 を販売中

ID: 9244882
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
System, 8" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、半導体・マイクロエレクトロニクス製造業向けに設計された高精度フォトリソグラフィ装置です。このシステムは、集積回路やその他の電子デバイスの製造に使用される従来のフォトリソグラフィープロセスの高度なバージョンです。フォトレジスト技術と多種多様な統合プロセスを組み合わせることで、様々な材料で正確で正確で再現性の高い画像印刷と層形成を実現しています。TEL MARK7フォトレジストユニットには特殊なイメージング光源が付属しており、正確で再現性の高い露光を保証し、各ショットと同じ解像度と忠実度を一貫して生成します。イメージング光源には、水銀ヨウ化ランプ、モノクロクォーツフィルム、長い光学経路など、さまざまな光学要素が組み込まれており、フィールド全体にわたって一貫したイメージングを維持しながら、さまざまな露光角度を可能にします。また、ステッパーを内蔵しており、被写体の表面上を正確に撮影レンズが移動します。さらに、このツールには特殊な画像切断レーザーが装備されており、微細な線、点、複雑なパターンの露出を可能にします。レーザーはNd: YAG材料から組み立てられ、露出シーケンスを正確に制御することを可能にする回転ドライブを組み込みます。レーザーはまた高精度の分解能の切断の仕事を可能にするオートフォーカスの資産を含んでいます。東京エレクトロンMARK-7フォトレジストモデルは、露出誤差が非常に低く、露出ごとに一貫した正確な結果を提供します。さらに、機器は一連のプロシージャルールに従うように設計されており、統合されたフィードアンドパス機構により、オペレータのエラーのリスクを大幅に低減します。また、露出シーケンスを自動化し、より迅速かつ標準化された生産時間を実現します。全体として、フォトレジストシステムMARK7信頼性の高い高精度イメージングユニットであり、一貫した正確な結果を得ることができます。このマシンは、精度、解像度、再現性を向上させる多くの機能を備えているため、半導体およびマイクロエレクトロニクス業界での使用に最適です。
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