中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9244864 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、フォトマスク製造業界で使用される全自動加工装置です。このシステムは、露光時間を最小限に抑えて正確なパターニング結果を可能にする高度な技術を備えています。その自己完結型レーザーアブレーションユニットと電子ボードは、包括的な機能セットを提供します。ユニットの統合設計は、簡単な操作とメンテナンスを保証します。TEL MARK7は全自動マスクセレクターを採用し、希望する印刷パターンに合わせて最適な露光性能パラメータを選択します。これにより、優れた画像処理のための正確なマスク準備が保証されます。このマシンの特徴は、独自のフィルム腐食層除去サブシステムです。この機能により、フォトレジストとエッチングを迅速かつ効率的にアブレーションできます。腐食層除去サブシステムは、完全にコンピュータ化されたマスク製造のための最も効果的な技術の1つです。TOKYO ELECTRON MARK-7のフィルム・ツー・フィルム露光モードでは、露光工程中のウェーハやシード層の動きを排除します。これは、露出時間が強度を制御し、均一な露出カバレッジを開発する「ランプ」露出プロセスによって達成されます。これは、マスクパターンが基板の後続の層に矛盾なく露出されることを意味します。このツールの高精度ウェーハマニピュレータは、レーザーモジュールの正確な集中とアライメントを保証します。レーザーは基質にあるかもしれない残余表面の欠陥か傷を正確に変更し、形作るのに使用されています。ウェーハマニピュレータはまた、レーザーの動きが制御可能であり、滑らかなエッジを持つパターンを露出して開発するのに十分な精度であることを保証します。アセットの顕微鏡ユニットは、基板の損傷を最小限に抑え、より細かいパターンを生成するために、ウェハ上の欠陥を正確に認識することができます。TEL MARK-7は、使いやすい自動マスク加工を可能にする最先端の加工モデルです。そのユニークな機能は、マスク製造のすべての分野で最高レベルの精度を提供し、コストと時間を削減します。東京エレクトロンマーク7は、フォトマスク製造業界で高い評価を得ています。
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