中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9242345 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、高性能な集積回路パターンとウェーハ処理を可能にする超精密、超高速、低コストのリソグラフィを実現する次世代フォトレジスト装置です。TEL MARK7システムは、高度な回路設計と最先端の加工技術をサポートし、今日の要求の厳しい半導体製造ニーズを満たすように設計されています。東京電子MARK-7は、最新の拡散照明技術を活用し、超高シャープで正確なパターニングとフロントサイドのアライメントを提供しています。このユニットには高性能レーザー干渉計が装備されており、プロセス全体でマスクとウェーハの超精密なアライメントを保証します。TOKYO ELECTRON MARK7では、最も難易度の高いマスクでも一貫して優れた性能を発揮します。また、露光時間を短縮するための高精度、高速パターニングツールを搭載しています。MARK-7は、パターンのずれを最小限に抑えるために、より大きな焦点深度を生成するコリメーターレンズを内蔵しています。TEL MARK-7には、露出後の正確な計測とアライメントのための自動計測およびアライメント・アセット（AMAS）も含まれています。このモデルは、アンダーカットとオーバーエッチングを最小限に抑えるために、正確なウェーハの位置決めとアライメントを提供します。AMASはまた、高速スキャン光学系を使用して露光プロセス中のパターン検査と欠陥検出を簡素化します。この装置には、プロセス制御を強化し、メンテナンスコストを削減するためのさまざまな機能も含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7には、MAGIC （TEL Mark 7グラフィカルインターフェースコントロール）を搭載した強力なソフトウェアワークステーションがあり、操作を合理化し、デバイスのセットアップを簡素化します。さらに、システムには、プロセス全体を監視し、プロセスの安定化を改善し、パーティクル誘発欠陥の発生率を低減し、迅速なフィードバック情報を提供するための制御とカメラが組み込まれています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7ユニットは、最新の集積回路のための正確で高速で費用対効果の高いフォトレジスト処理を提供するように設計されています。高度な照明、フロントサイドアライメントマシン、自動計測およびアライメントツール、およびMAGICソフトウェアにより、Mark 7は高次元の精度と均一性を備えた世界クラスのデバイスパターンを生成することができます。