中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9241226 を販売中

ID: 9241226
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
(5) Developer system, 8" Dual block 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、フォトレジストの体積や成分の誤りを正確に測定し、高い歩留まりと均一な組成を実現するフォトレジスト装置です。このシステムは、高精度の機械式測定装置、ステレオミクロスコープを使用して、チャンバー内のフォトレジストの体積を正確に測定します。TEL MARK7はまた、ユーザーが理想的なリソグラフィ性能を確保するためにフォトレジストコンポーネントの相対的な誤りを正確に調整することができる高度なソフトウェアを利用しています。このユニットは、通常、回路基板の生産などのハイエンドのリソグラフィープロセスに使用されます。TOKYO ELECTRON MARK-7は、フォトレジストをプロセスチャンバーに正確に搬送する自動ディスペンサーです。自動化されたディスペンサーは、適切なフォトレジストの体積と組成を正確にチャンバーに分配するために、コンポーネントの正確な組み合わせを使用します。ディスペンサーはまた、理想的なフォトレジスト組成を確保するためにプロセスチャンバーのパフォーマンスを常に監視するユニークな制御マシンを備えています。MARK-7には再分配コントロールも含まれており、自動ディスペンサーは理想的な性能を維持するために必要に応じて追加のフォトレジスト部品を分配することができます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7は、プロセスチャンバー内のフォトレジスト組成を監視し、オペレータにリアルタイムのフィードバックを提供する高度なソフトウェアを備えています。高度なソフトウェアアーキテクチャにより、このツールはフォトレジストの構成をすばやく調整し、理想的なリソグラフィ性能を保証します。このアセットはまた、フォトレジスト構成を表示するグラフィカルインターフェイスをユーザーに提供し、ユーザーが問題をすばやくトラブルシューティングして効果的に解決できるようにします。このモデルは、高精度機械測定装置であるステレオミクロスコープを使用して、プロセスチャンバー内のフォトレジストの体積を正確に測定します。ステレオミクロスコープは使いやすいインターフェースを備えており、測定用のパラメータを素早く設定および調整できます。ステレオミクロスコープは、フォーカス拡張などの高度な機能も備えており、多数のフォトレジストを一度に正確に測定することができます。TEL MARK-7は、高い歩留まりと均一な組成を作り出すために設計された信頼性の高いフォトレジスト機器です。このシステムは、高度なソフトウェアと自動化されたディスペンサーを使用して、フォトレジストをチャンバーに正確に供給します。また、高精度機械測定装置を搭載し、フォトレジストの体積や部品の誤りを正確に測定します。MARK7は、回路基板の生産など、ハイエンドのリソグラフィープロセスにとって信頼性の高い選択肢です。
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