中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239701 を販売中
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ID: 9239701
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Right
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7フォトレジスト装置は、半導体製造プロセス向けのハイテクフォトリソグラフィーシステムです。TEL MARK7ユニットは、様々なフォトレジストを極めて精密な解像度でパターン化・露光することが可能であり、半導体製造の高度な段階で採用されています。TOKYO ELECTRON MARK-7 machineの中心には、さまざまなタイプと感度のフォトレジストを露出するためのレーザーとハロゲンランプの選択を提供するALTUS露光ツールがあります。また、高解像度のアライメントと検査機能の拡張範囲が含まれています。ALTUS Exposureアセットのオープンループソフトウェアは、最大256層のフォトレジストをパターン化できます。このモデルは、使用されるフォトレジストの種類に応じて露出境界を正確に定義および調整できます。この機能により、露出時間をレイヤーごとに変更して最適化することができます。ALTUS Resolution Patterning Technologyは、可能な限り最高の解像度を提供しながら、あらゆる機能を正確に配置します。また、BEAMER（電子ビームによる高解像度イメージング）を用いたECRIS （Enhanced Critical Resolution Imaging System）イメージングも可能です。MARK-7ユニットの高度な欠陥検出機能は、TELECISAS （TELETron™ Machine for Advanced Inspection and Simulation）によって提供されます。TELECISASの機能には、最先端のプログレッシブ欠陥検出アルゴリズムと品質管理情報を備えた包括的なデータベースが含まれます。MARK7ツールの高精度露光機能に加えて、そのデータおよび材料管理機能も同様に印象的です。すべての重要な情報はデータ駆動であり、生産プロセスを簡単に制御できます。情報は、インテリジェントなデータマイニングと分析によって監視および収集されます。材料管理資産は、原材料から完成品まで、プロセスのあらゆる側面をカバーし、詳細な在庫と注文管理を可能にします。TEL Mark 7モデルは、高解像度、高精度、および品質管理を提供できる高度なフォトリソグラフィーソリューションです。先進的な半導体製造プロセスの導入を促進しながら、経費を抑え、生産性を向上させることを目的としています。
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