中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239700 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 9239700
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
(3) Coater system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Left
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、電子ビームリソグラフィ用に設計されたフォトレジスト機器で、集積回路などの微小電子部品の製造を支援するために開発されました。このシステムには、限られた領域に高エネルギー電子を供給することによって基板を正確に露出するための特殊なビーム偏向ユニットが含まれています。これにより、従来の露光技術よりもローカライズされた強烈な電圧プロファイルを提供し、パターン制御を改善できます。TEL MARK7には、焦点コイル付きの高度なイオン源が含まれており、ビームが小さなスポットサイズに集中し、迷子電子の可能性を低減し、小さな領域に効果的な電圧を広げることができます。さらに、このマシンは特別に設計された電子デフレクターを使用して、機能定義と蒸着制御を強化した全面スキャンを可能にします。これらの部品を組み合わせることで、0。1ミクロンという高分解能の高速電子ビーム処理が可能になります。また、東京エレクトロンMARK-7は、プログラム可能なプラズマ源と温度制御を備えており、熱活性化フォトレジストなどのEPIL材料を対象領域に正確に供給することができます。これにより、電子ビームが複数の露出にわたってエネルギーを適用する必要がある場合でも、基板の均一なカバレッジが保証されます。最後に、TEL Mark 7ツールには、露出した基板を検査するための光学顕微鏡アセットが内蔵されています。これにより、ブラインドスポットを排除し、処理が正確であることを保証します。さらに、自動ステージアライメントモデルを使用して、ビームが常に焦点を外し、検査されている部品から遠ざけられていることを確認し、より安全に使用できます。これらの機能を備えたMARK-7は、電子ビームリソグラフィのための業界をリードするフォトレジスト機器であり、マイクロエレクトロニクス部品の加工のための精度と安全性の両方を提供します。
まだレビューはありません