中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239699 を販売中
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ID: 9239699
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
(3) Coater system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Right
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7フォトレジスト機器はフォトレジスト技術の先進的な開発です。集積回路やその他の精密機器の製造を支援するように設計されています。高精度で極小パターンサイズを実現し、様々な環境での動作が可能です。TEL MARK7は複数の部品で構成されており、それぞれ異なる機能を提供しています。単位の主要な部品は波長モニター、プロセスコントローラおよび沈殿/エッチング部屋を含んでいます。波長モニターは、プロセスで使用される光の波長を正確に監視するために使用されます。広い波長にわたって最高の精度を提供するように設計されており、安定した一貫したプロセスを保証します。プロセスコントローラは、さまざまなアプリケーションの処理パラメータを正確に制御します。異なったプロセスおよび生産の速度のために最適化するように構成することができます。フォトレジスト材料への薄膜の成膜・エッチングに使用されます。フォトレジストの正確な配置とエッチングを可能にする高度な機構を備えており、非常に小さなパターンサイズを高精度に実現しています。また、特定のプロセスのニーズに合わせてさまざまな圧力と温度で動作することもできます。TOKYO ELECTRON MARK-7は、最先端の電子追跡装置を使用して、プロセスの精度をリアルタイムでフィードバックします。このフィードバックはプロセスコントローラに送信され、必要な結果を維持するためにパラメータを調整します。このツールはまた、インテリジェントマスキングアセットを備えており、インシデントライトの偏光を自動的に調整して最大の精度と安定性を確保します。このモデルは、非常に正確で信頼性の高いフォトレジスト印刷プロセスを提供するように設計されています。TEL MARK-7は、集積回路やその他の精密機器など、さまざまな用途に適しています。最適な生産歩留まりを実現する高度な機能を搭載し、クリーンルーム環境での使用を想定して設計されています。Mark 7は、信頼性の高い正確なフォトレジスト印刷装置を探しているメーカーに最適です。
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