中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239698 を販売中
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ID: 9239698
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
(3) Coater system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Right
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、多層半導体製造プロセスの精度、速度、歩留まりを最適化する最先端のフォトレジスト機器です。高度なプロジェクションイメージングとパッティングされた光子技術を活用し、1ミクロン以下の解像度でアルミニウムエッチングを実現しています。このシステムは、高解像度の光学系を使用してフォトレジスト層を基板に露出させることにより、さまざまな厚さの複数の層を処理することができます。露光プロセスは、異なる波長の2つのレーザービームを使用します。1つは等方性、もう1つは異方性アブレーション用です。このユニットは、層厚制御を改善して構成されており、パターン精度とエッチングされた表面品質を向上させることができます。また、誘電体の完全性を確保し、汚染の可能性を排除するために、動作中にパーティクルフリーの環境を備えています。また、TEL MARK7には専用のリモートマネジメントマシンが付属しており、最適な制御と監視が可能です。これにより、ユーザーはリアルタイムでマシン設定を監視、最適化、および調整することができ、手動プロセスの必要性を減らすことができます。このツールは、さまざまなプロセスをより速く、より正確に移動するために自動化することもできます。最後に、東京電子MARK-7は、お客様の既存のデータベースインフラストラクチャと統合し、ダウンタイムを最小限に抑えながら、迅速かつ再現可能なフォトレジスト操作を提供します。TEL MARK-7は、集積回路チップの高精度・高歩留まり製造に最適なソリューションです。コンパクトな設計、低い運用コスト、プロセス制御の保護、厳格な品質管理を特徴としています。TEL Mark 7は、最新のプロジェクションイメージングとパタリングされたフォトンテクノロジーを自動制御と組み合わせて使用することで、市場で最高のフォトレジスト資産となります。Layer-thickness control、 particle-free環境、自動化されたプロセス管理が向上したMark 7は、最高レベルのフォトレジストアプリケーションに最適です。
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