中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239616 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、TEL （TOKYO ELECTRON）が開発したフォトレジスト機器です。半導体集積回路の製造においてフォトリソグラフィやパターニングプロセスで使用されるレジスト開発プロセッサです。このレジスト処理システムは、モジュラー設計に基づいており、レジストコーター、開発者、ストリッパー、ドライヤー/オーブンで構成されています。レジストコーターは、基板にフォトレジストを適用するために使用されます。それはコーティングの重量および厚さの精密な制御を可能にし、また基質の反射防止コーティングの適用を促進します。開発者は、基板上の非画像領域からレジスト材料を選択的に除去するために使用されます。高圧エアロゾル技術を活用し、フォトレジストの迅速な除去を可能にし、基板上に複雑なパターンを作成します。ストリッパーは、残留フォトレジストの除去に使用される別のユニットです。基板の厚さ99。5％のレジストフィルムを除去することができます。乾燥機/オーブンは基質を熱し、残りの溶媒および他の汚染物を取除くのに使用されています。それは直径の200mmまでの4つの基質まで一度に処理できます。最大250°Cの加熱能力を持ち、基板の歪みを最小限に抑えるための空気設計を採用しています。TEL MARK7には、基板を正確に加熱・加工するための各種センサーが搭載されています。TOKYO ELECTRON MARK-7は、直感的で使いやすいグラフィカルインターフェイスと、さまざまなカスタムレシピとプロセスプロトコルを備えています。これは、基板が最高の精度と再現性で処理されることを保証するために、統計的プロセス制御（SPC）機能の範囲を提供します。機械は水晶、ケイ素、アルミニウムおよび銅を含むいくつかの材料のクリーニング、シーリングおよび反射防止のコーティングのために適しています。MARK-7は、フォトリソグラフィープロセス用に作成された効率的で信頼性の高いレジスト開発ツールです。東京エレクトロンマーク7は、モジュラー設計と幅広いプロセス能力により、集積回路の製造に理想的なプラットフォームを提供します。