中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9237076 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7フォトレジスト装置は、先端電子デバイスの製造に使用される革新的なポリマー薄膜成膜およびエッチングシステムです。この高度なユニットは、サブミクロン線パターンを作成することができます。この技術は、単一の薄膜蒸着機を形成するために結合された化学溶液とプラズマエッチングプロセスの組み合わせに基づいています。この技術は、レジストソリューションを基板に適用する2段階のステップアンドリピートプロセスで構成されています。最初の段階はパターニングステップで、フォトマスクを配置して基板に露出させます。この露出は、レジストフィルムの所望のパターンを作成します。第2段階では、プラズマエッチングを使用してレジストフィルムの所望の特徴を作成するエッチング工程があります。このプロセスは、マスクから基板へのパターン転送を完了します。TEL MARK7フォトレジストツールは、従来のパターニングプロセスに比べて多くの利点を有しています。また、より高いスループット・レートを提供し、精度と安定性を向上させることができます。このプロセスは、再作業と調整可能なフィーチャーのサイズを可能にするのに十分な汎用性もあります。また、ウエハハンドリング、アライメント、フォーカス調整からなる自動化されたプロセスも提供します。この自動化は、人件費を削減し、プロセスの再現性を向上させるのに役立ちます。それはまたプロセスの効率を高め、より速いターンアラウンドタイムを可能にします。これらの特長と高解像度・高機能サイズの特長を兼ね備えた東京エレクトロンは、高精度パターニングプロセスにおいて高い信頼性と求められるソリューションをMARK-7しています。この装置は、半導体産業における先進的な半導体および光電子デバイスの製造に広く使用されています。