中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9235180 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、リソグラフィープロセスの精度と精度を向上させるフォトレジスト装置です。このシステムは、フォトマスク製造、半導体回路、および機能部品に適しています。ユーザーは、最低限のオペレータ介入で高解像度のフォトリソグラフィーパターンを達成することができます。TEL MARK7は強力なビームを使用し、より高い精度と高い解像度を可能にします。このビームは紫外線(UV)光で構成されることが多く、リソグラフィーパターンを高精度に届けることができます。UVビームは、フィールドのサイズ、パターンサイズ、露出数など、幅広い露出パラメータを提供します。露出パラメータは簡単に調整可能で、ユーザーは各ジョブの正確な設定をダイヤルできます。TOKYO ELECTRON MARK-7は、プロセスを制御するために使用される統合ソフトウェアを備えています。このソフトウェアは直感的で簡単で、ユーザーはマークを素早く簡単に設定したり、設定を調整したり、データを入力したりすることができます。さらに、基板全体の露出パラメータを自動的に管理することで、時間を節約できます。これはバッチ処理作業に特に役立ちます。MARK-7位置決め精度にも優れています。集計・加工システムを一体化したオペレータは、ターゲット基板上のリソグラフィーパターンの位置を簡単に調整できます。つまり、ユーザーは複数の露出や過剰なX-Yの動きを危険にさらすことなく、すばやくクリーンなデザインを作成できます。機械はまたさまざまな顧客の要求を満たすように形成することができます。マイクロ秒からミリ秒の露光まで、幅広い露光パラメータと露光時間を受け入れるようにプログラムすることができます。さらに、ツールは既存のクリーンルームのセットアップに合わせて調整することができます。TOKYO ELECTRON MARK 7は、最高水準の精度と精度を実現する高度なフォトリソグラフィ資産です。強力なビーム、直感的なソフトウェア、および優れた位置決め精度により、正確で正確なフォトマスク製造および半導体回路の製造に適しています。
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