中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9235179 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、高速かつ正確なレジスト処理を可能にする先進的なフォトレジスト装置です。完全に自動化されたクローズドループシステムで、レジストディスペンス、露出、焼成を1ステップで制御します。TEL MARK7はまた、様々なレジスト処理アプリケーションに対応するために、露出およびクリーンアップのパラメータの広い範囲を提供します。TOKYO ELECTRON MARK-7には、フォトレジスト用に特別に設計されたキャリブレーテッドディスペンサー（CD）が搭載されています。それにフォトレジストの均一で、反復可能な線量を保障する調節可能な分配のノズルがあります。ディスペンスヘッドは温度と圧力を制御することもできます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7は、紫外線（UV）露出ユニットとシャドウフリー露出ユニットを提供しています。それは開発区域をきれい保つために高度の空気ナイフ機械を組み込みます従って開発時間を減らし、正確さを高めます。TOKYO ELECTRON MARK7には、HFやUV露出など、さまざまなプロセスに正確な露光時間を提供するプロセスアルゴリズムも内蔵されています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7には、アクティブヒートコントロールツール（AHCS）も搭載しています。このアセットは、PIDコントローラを使用して発熱体を正確に制御します。また、複数の温度プロファイルを選択できるため、ユーザーは特定のアプリケーションに最適な温度プロファイルを選択できます。また、TEL MARK-7は、露光プロセス中にフォトレジストの均一な圧力を保証する独立した過圧モデルを提供しています。TEL Mark 7には自動レジストクリーンアップモジュールもあります。このモジュールは、基板上の残りのレジストをきれいにするために統合ノズル装置を使用しています。洗浄剤は、痕跡を残さずに基板表面全体からフォトレジストを除去します。MARK7は、最大200mm×300mmの基板サイズで、厚さ4mmまでの基板を取り扱うことができます。マニュアルローディングにより、一度に最大12基板に対応できます。MARK-7の効率と精度により、幅広い用途に最適なフォトレジスト加工システムです。