中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9235085 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、精密フォトリソグラフィを必要とするマイクロエレクトロニクスなどの用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。モダンでユーザーフレンドリーなインターフェースにより、信頼性の高い高品質のレジスト成膜と露出プロセスを提供します。TEL MARK7フォトレジストシステムは、独自の垂直照明設計により、接触印刷の調整が容易になり、フォトレジスト成膜に最適化された光均一性を提供します。本体には7インチコリメーターレンズを搭載しており、コンパクトなCD制御によりサブミクロンの特長サイズを極めて正確に扱うことができます。オートアライメントマシンは、大量生産ウエハに比べて高精度で均一な画像を可能にします。このツールは、Prebakeビジョンプラットフォーム、Safety Blast Chamber、およびResistプラットフォームで構成されています。Prebakeプラットフォームは、ベーキングおよびプレベーキングプロセスに使用されます。プリベークオーブンと熱電対アラームアセットを備えており、目標温度に達したときに警告します。Safety Blastチャンバは、露出プロセス中にレジストと基板が常に保護されるようにすることで、ウェーハスループットを向上させることができます。レジストプラットフォームは、高収率の結果を得るために正確なレジスト沈着と露出を提供します。TOKYO ELECTRON MARK-7フォトレジストモデルは、高性能コントローラを搭載し、信頼性の高い動作を実現しています。その高度なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は、明確で直感的なナビゲーションを可能にし、オペレータがジョブを素早く設定して表示できるようにします。この機器には高度なセキュリティシステムが組み込まれており、機密領域やデータへのアクセスが制限されています。TOKYO ELECTRON MARK 7フォトレジストユニットは、幅広いマイクロエレクトロニクスやその他の用途において、最大限の安全性と利便性を確保します。クリーンルーム環境での動作をサポートする多数の機能を備えています。また、高度な環境監視機能を備えており、ユーザーはリアルタイムで環境を監視できます。Energy Star準拠の電源を備えており、エネルギー消費を削減し、費用対効果の高い運用を支援します。