中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9216894 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7フォトレジスト装置は、半導体・光電子製造プロセスで使用される精密リソグラフィ装置です。超小型機器の製造において、世界トップクラスのサブミクロメータ精度を実現します。フォトレジスト層を正確に露出させる高精度プロジェクターを搭載しています。これらの高度なプロジェクターには、光学ランビックプリズム（ORP）レンズアレイが装備されており、レンズ収差による歪みや効果を継続的に補正しながら、画像を正確にフォーカスすることができます。また、ORPレンズアレイは、精密な0。25umフィーチャープリントを可能にするイメージサイズを4X削減します。TEL MARK7マシンは、洗練された露出制御フィードバックループツールでさらに強化されています。これにより、チップ設計のサブフィールドごとの露出を微調整できます。ナノスケールでの製造に不可欠な再現性と高精度な露出プロセスを提供します。TOKYO ELECTRON MARK-7は、フォトレジスト層でチップの画像が正確に焦点を合わせることを保証する独自のフォトアライナー機能を備えています。これは、サイズが0。20um以下のような超小型機能を印刷する場合に特に重要です。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7モデルは、環境負荷を低減し、きれいな作業環境を維持するために設計されています。空気中の汚染物質、ほこり、微粒子を除去して汚染を防ぐための乾燥ガス循環および濾過装置を内蔵しています。また、東京エレクトロンMARK7には、フォトレジスト工程における揮発性有機化合物などの蒸発を低減する真空除去システムもあります。最後に、MARK7ユニットは、ダウンタイムを削減し、24時間365日生産を容易にするために、高い信頼性で簡単なメンテナンスと修理のために設計されています。アップタイムスケジューラを備えており、生産を中断することなく、メンテナンスチェックアップや予防メンテナンスを実行できます。TEL Mark 7は、高精度、高精度、再現性を備えた超小型機能を、環境負荷の少ない信頼性の高い環境で生産することができる精密リソグラフィ装置です。これにより、半導体とオプトエレクトロニクスの生産に最適です。