中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9216078 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、半導体製造時にリソグラフィに使用される先進的なフォトレジスト機器です。このシステムは、最先端の解像度フォトレジストツールと高度なイメージングオプティクスを統合して、優れたウェーハイメージング性能と解像度を提供します。TEL MARK7ユニットはサブミクロンレベルのリソグラフィ処理に最適です。フォトレジストマシンには専用のフォトレジストプロセッサが搭載されており、ウェーハ表面に均一で正確なフォトレジストフィルムを適用するために使用されます。また、ナノメートル解像度でウェーハ表面にフォトレジストをイメージするために使用される精密イメージングオプティクスツールも含まれています。イメージングオプティクスには高解像度の目的が含まれており、ウェーハ表面に優れた回折限界のある画質を提供します。また、光学素子を正確に配置し、ウェーハ表面の自動スキャンを提供するために使用されるロボットガントリーアセットも含まれています。フォトレジストモデルはコンピュータ制御されており、ユーザーはイメージングパラメータをプログラムして所望のウェハパターンを取得することができます。この装置は、光学ステッパー、スピン/ディップコーティング、洪水エクスポージャーなど、さまざまな人気のあるリソグラフィ露光技術と互換性があります。また、大小の基板フォーマットなど、さまざまなサイズのウェーハを処理することもできます。TOKYO ELECTRON MARK-7フォトレジストシステムは、処理中にフォトレジスト材料をウェーハに転送するために使用される高度なガスジェットユニットで構成されています。このガスジェット機は、処理中にウェーハ表面の均一な抵抗カバレッジを維持するのに役立ちます。さらに、このツールには反射防止コーティングモジュールが含まれており、イメージング中のウェーハ表面からの光の反射を低減するのに役立ちます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7フォトレジストアセットには温度制御モデルが搭載されており、イメージング中のリソグラフィ光学の温度を調節することができます。また、クリーニングモジュールが付属しており、イメージング後にウエハ表面からレジスト材を洗浄するために使用されます。全体として、MARK-7は高度なフォトレジスト機器であり、ユーザーのリソグラフィーイメージングの要求を満たすことができます。優れた解像度イメージングと幅広い高度な機能により、高品質の半導体デバイスを効率的に製造できます。