中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9215816 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、半導体製造と製造のための高度なリソグラフィ露光ソリューションを提供するフォトレジスト機器です。プロセス制御と画像配置精度を最大化する先進的な装置です。TEL MARK7は、光近接補正（OPC）を利用して、半導体ウェーハ上に高精度の光学リソグラフィパターンを作成します。OPCアルゴリズムは、ナノメートルレベルまで微細な特徴を正確に配置することを可能にします。これは、現代の半導体製品で使用される高度に複雑なIC設計を成功させるために必要です。また、高精度なモーションシステムを搭載し、モーションコントロールセンサーにより高精度の位置決めと速度フィードバックを実現しています。東京電子MARK-7のスキャンユニットは、遅いモードと高速モードの両方で動作し、ウェーハ表面にミクロンスケールパターンを正確に配置することができます。さらに、ITRS （International Technology Roadmap for Semiconductors）およびSemiconductor Equipment and Materials International （SEMI）規格で認証された同機。TEL MARK-7には、特許取得済みのin-situウェハクランプツールもあります。これにより、リソグラフィープロセス中のより良いwbstrat配置を確保するために、ウェーハのタイトで均一なクランプが可能になります。これは、リソグラフィーパターンにエラーを引き起こす可能性のあるずれを防ぐのに役立ちます。TOKYO ELECTRON MARK7には最先端の光検出器が搭載されており、ウェハ上の光学リソグラフィーパターンの光強度を正確に測定できます。この検出器は、正確なパターン転送のための完璧な露出条件を維持するのに役立ちます。さらに、露光乱流モニター、地形モニター、画像登録検証アセットなどの高度な機能が搭載されており、作業中の正確な露光条件の確保とアライメントをさらに支援します。これらの機能は、正確で再現性のある製造結果を維持するのに役立ちます。最後に、このマシンには、異なるリソグラフィーパターンを切り替えるときの時間と労力を節約する自動レチクル交換モデルも含まれています。この装置は、ユーザーが単一のボタンのプレスで異なるパターンを切り替えることができます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7は、半導体製造と製造のための高度なリソグラフィ露光ソリューションを提供する、高度で非常に精密な装置です。精密なモーションシステム、現場でのウェーハクランプユニット、光検出機、その他の機能により、精密で再現性のある製造結果を保証する優れたツールです。