中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9214147 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、半導体デバイス製造のフォトリソグラフィ工程で使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、フォトレジスト回転ユニット、マルチスポット露光ステーション、および自動熱保護ユニットで構成されています。フォトレジストスピニングユニットは、ウェーハ全体の均一なスピンレートを実現するために、フォトレジストコーティングされたウェーハを正確に制御された速度でスピンするために使用されます。マルチスポット露光ステーションは、マルチスポットレーザービームを採用し、従来のマスクアライメント技術を必要とせずにフォトレジストコーティングされたウェーハを同時に露出させ、スループットレベルを向上させます。さらに、露光ステーションには、レーザーとカメラの両方を使用してウェーハ上の露光画像のパターンを正確にフォーカスして調整するアライメントユニットが装備されています。最後に、自動熱保護ユニットは、レジスト回転および露出プロセス中のウェーハの過熱を防ぐために使用される統合された熱制御マシンです。TEL MARK7はフォトレジストスピニングユニットから始まります。フォトレジストをウェーハ上に回転させた後、マルチスポット露光ステーションがウェーハを照らし、目的の機能をレジストにエッチングします。露出ステーションのアライメントツールは、露出マスクを個々のウェーハに素早く正確に合わせるために校正され、高速な処理速度を実現します。最後に、自動熱保護ユニットは、プロセス全体でフォトレジストの最大熱保護を確保するために、ウェハの温度を監視します。TOKYO ELECTRON MARK-7はパワフルで信頼性の高いフォトリソグラフィ資産であり、半導体メーカーがウェーハを迅速かつ正確に処理することができます。また、製造プロセス中にフォトレジストの最高レベルの熱保護を提供します。高度なレーザーベースの露光メカニズムと精密アライメントモデルにより、MARK7は最新の半導体デバイス製造の高いスループットと精度要件を満たすための理想的なソリューションです。