中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9206057 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7フォトレジスト装置は、様々な電子機器の製作に使用するために設計された先進的なフォトリソグラフィーツールです。TEL MARK7システムは、市場で最も先進的で信頼性の高いリソグラフィーシステムの1つであり、デバイスの生産と開発において高いレベルの一貫性を提供します。TOKYO ELECTRON MARK-7ユニットは、真空機、アライメントステージ、コーターと開発者、フォトマスクリーダー、フォトレジストツールなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。真空アセットは、チャンバー内に中立的な環境を作り出し、粒子や汚染物質のないクリーンな雰囲気を提供します。アライメントステージは、フォトマスク上のパターンを正確に整列させるために、フォトリソグラフィーツールに関してウェーハの位置決めに正確な運動と精度を提供します。コーターと開発者は、フォトレジスト材料をウェーハに堆積させるだけでなく、作成されたフォトレジストパターンを開発する責任があります。フォトマスクリーダーは、フォトマスクパターンをコンピュータに読み込む自動読み取りモデルです。最後に、フォトレジスト装置は、トランジスタや電子デバイスの他のコンポーネントを形成するために使用される高品質のパターンを作成するために責任があります。Mark 7システムはまた、最高品質のパターンを生成するために、高度な露出制御ユニットを利用しています。このマシンは、パターン定義の最高精度を確保するために、レンズアレイ投影、ダイナミックフォーカス制御、スペクトル制御などの露出方法を使用しています。この技術は、均一なプロファイルを維持するパターンを可能にし、露出エラーを低減し、一貫した結果を提供します。さらに、MARK7ツールには、組み込みの基板カセット処理アセット、ウェーハの自動センタリング、自動マスクアライメントと露出、自動レシピルーチンなど、効率的な操作のためのいくつかの自動化された機能が含まれています。これらの機能により、オペレータの介入を最小限に抑えてモデルを実行でき、ヒューマンエラーのリスクを低減し、全体的な効率を向上させます。TEL MARK-7フォトレジスト装置は、高度な技術を駆使し、電子部品の高精度、高精度、一貫性を確保しています。これは、広く信頼され、信頼性の高いリソグラフィ用途のためのツールであり、電子部品やデバイスの製造に頻繁に使用されています。
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