中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9119206 を販売中
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ID: 9119206
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1995
Track system, 6"
Left to right for 8"
Indexer: (4) cassette stage (uni-cassette)
Configuration:
Main body
IF
Chemical cabinet 1
Chemical cabinet 2
THC
PC rack
Main controller: NEC FC-9801F
C/S Robot type: vacuum arm, ceramic pincette
Main robot type: 3 pincette arm
Indexer: laser diode mapping sensor
COAT:
(4) Resist nozzles / bellows pumps
(1) Gallon resist bottle / thinner local supply (canister)
EBR nozzle / back rinse nozzle
Local drain (1st SUS 10L tank/drain pump)
DEV:
Nozzle type: E2
Rinse nozzle / back rinse nozzle
Local supply / facility drain
WEE:
TEL Standard
UL-200T-L1 UV Light source
AD:
TEL Standard
Local supply
Currently warehoused
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、半導体製造のフォトリソグラフィ工程で使用されるフォトレジスト機器です。基板表面の光条件を制御しながら、レーザー光技術によりプロセス中に発生する無駄な光を除去します。TEL MARK7は、レーザー光源に633nmまたは635nmのレーザー波長を使用し、調整可能なスリットと発振光学と組み合わせて使用します。システムはレーザー光線の強度そして傾きのために調節することができる反射器および光学フィルターアセンブリを含んでいます。また、基板の露出期間を正確に制御できる高精度シャッターを内蔵しています。東京電子MARK-7には、フォトレジスト素材をミスティングや滴下することなく一貫した速度で分配できるフォトレジスト分配ユニットも内蔵しています。このマシンは、環境汚染を最小限に抑え、背景干渉を最小限に抑えるように設計されています。スリット角やレーザー力など複数のパラメータを設定することで、高精度な表面結果を得ることができます。このツールは、1 μ mという非常に正確な空間分解能を持ち、さまざまな基板表面で高品質な結果を生み出すことができます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7は、高精度制御を備えた非常に効率的な資産で、半導体デバイスの製造に最適です。堅牢な構造のため、信頼性が高く、長寿命を誇っています。モデルはまた容易にセットアップすることができ、非常にユーザーフレンドリーです。全体として、MARK-7は半導体デバイスの製造に使用される高度なフォトレジスト装置です。レーザー光技術と調整可能なスリットと発振光学により、高精度な結果を提供することができます。それは非常に信頼性が高く、ユーザーフレンドリーであり、極端な品質の基板の生産に理想的な選択肢です。
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