中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098210 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、レジストイメージングの精度と性能を向上させるためにTELが開発した最先端のフォトレジスト機器です。これは、2つの独立したフォトレジストプロセスと4つの独立したオーバーヘッドガントリーをサポートすることができるマルチタスクプラットフォームであり、同じクォーツプレートまたは複数のプレートを光学フォーマットとデジタルフォーマットの両方で同時に露出させることができます。TEL MARK7には、リソグラフィーチャンバーと軸外露光システムという2つの主要コンポーネントがあります。リソグラフィーチャンバーはクリーンルームであり、スループットと精度を最大化するための最先端のコントロールを備えています。チャンバー内に真空を作成できる超高真空（UHV）ユニットを内蔵しており、空気を気にせずにレジストを露出させることができます。チャンバーには反応性プラズマ源もあり、露出前の基板へのレジストの接着性を向上させるのに役立ちます。露光装置は、ウェーハ上の特徴を高精度に撮影できる高解像度ツールです。基板の向きや厚さに関係なく、ウエハー基板にパターンを正確に集中させることができる、軸外の照明源を備えています。この非軸アセットは、3次元構造をイメージングするために特に重要です。露出モデルには、露出プロセスが効率的で一貫した高速モーター制御でマスクを正確に動かすことを保証する高度な制御機能と、正確な露出を確保するための自動歪み、サイズ、配置測定機能もあります。さらに、この機器は直感的なユーザーインターフェイスを備えており、診断、プロセス監視、障害検出機能を提供します。TOKYO ELECTRON MARK-7は、優れた画像処理能力と性能、歩留まり、スループット、ユニット稼働時間の向上を実現する革新的なシステムです。また、高いスループットと柔軟性により、市場投入までのコストと時間を削減するのにも役立ちます。このフォトレジストマシンは、ハイエンドのエレクトロニクス製造に最適なツールであり、業界の動向と需要に対応するために必要な信頼性と性能を提供します。