中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098207 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7
ID: 9098207
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
(1) Coater / (2) Developers system, 8" 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7フォトレジスト装置は、主に半導体製造プロセスで使用されるプログラムされたデバイスで、ウェーハ上のフォトレジスト材料を精密な形状とサイズで正確に開発することができます。このシステムは、非常に細かいディテールを備えた高度な集積回路の製造に最適です。TEL MARK7は、ウェーハのロジックレイヤーからデータをわずか数秒で読み取る高速CCD画像キャプチャデバイスを備えた最適化されたデータ処理ユニットによって駆動されます。次に、データを中央のコントローラーユニットに送信し、ロボットコントローラに処理および指示を送信します。これにより、材料を高精度かつ高精度に素早く加工することができます。CCDカメラから取得したデータと、ユーザー定義のパラメータを使用してフォトレジスト開発パターンを生成します。ロボットコントローラは、生成された指示に従ってウェーハをパターン化します。その結果、ユーザーから提供された正確な仕様に従った高精度のフォトレジストコーティングが可能になりました。東京電子MARK-7では、パルスレーザー強度制御、高度な冷却制御、フォトレジストコーティングの品質を常に観察・評価するin-situモニターなどの高度な機能も提供しています。これらの機能は、幅広いフォトマスク加工作業において最高レベルの精度と精度を保証します。TEL MARK-7は1時間あたり最大180枚のウェーハ処理が可能で、操作者が素早く簡単にマシン設定を行うことができます。さらに、二重負荷ロックマシンを搭載しており、負荷ポートからトリートメントチャンバーに安全にウェーハを誘導することができます。TOKYO ELECTRON MARK7フォトレジストツールは、高精細な集積回路の製造に最適な、幅広い機能を備えた非常に強力なデバイスです。自動化されたデータ収集、処理、開発機能は、高速処理に加えて、フォトレジスト材料を使用したウェハのバッチ処理に最適です。
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