中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098203 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7フォトレジスト装置は、さまざまな半導体デバイス製造プロセスで使用される最先端のパターニング技術です。先進的なフォトリソグラフィとエッチング技術と先駆的なフォトレジスト化学を組み合わせ、100ナノメートル以下の高精度かつ正確なドライエッチング処理を実現します。TEL MARK7は独自のフォトレジストフィルムデザインを採用しており、非常に攻撃的なドライエッチング薬品に対して優れた耐性を発揮しながら、微細な基板に0。1 umの高解像度を提供しています。フォトレジスト材料は、アプリケーションの要件に応じて、リアクティブイオンエッチング（RIE）、イオンミルエッチング、プラズマエッチングなど、さまざまなドライエッチング処理を行うために調整することができます。さらに、このマシンは、正と負のトーンフォトレジストを含むさまざまなフォトレジストコーティングや、さらに高い解像度を可能にする化学的に増幅されたフォトレジスト用に構成することができます。TOKYO ELECTRON MARK-7リトエッチツールは、100ナノメートル以下にエッチングされた構造の高い精度と再現性を提供するように設計されています。本アセットは独自のレーザースキャン技術により、ウェーハの正確なアライメントを可能にし、エッチングや後処理による高価なマスクのずれを排除します。TOKYO ELECTRON MARK 7は、特徴プロファイル精度の向上とドライエッチング副産物の迅速なポストエッチング除去により、ターンアラウンド時間の短縮と歩留まりの向上を実現しています。さらに、このモデルは、EUのRoHS指令やREACH規制など、適用可能なすべての環境要件を満たすように設計およびテストされています。最後に、TEL/TOKYO TEL MARK-7装置は、フォトレジストパターニングプロセスをサポートする包括的なソフトウェアパッケージを提供します。自動化されたレジストトリミングや光学近接補正（OPC）ツールなどの高度なソフトウェアツールは、高精度なパターニングと正確なOPCを容易にし、タイトな設計レイアウト要件を満たします。統合されたマスクレス技術により、TEL/TOKYO ELECTRON MARK7システムのプロセス機能がさらに強化され、迅速かつ費用対効果の高いデバイス統合が可能になります。