中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098202 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7フォトレジスト装置は、高精度かつ再現性の高いリソグラフィープロセスを半導体デバイスに提供するために設計された半導体チップ製造システムです。マスクレスリソグラフィーは、従来のリソグラフィープロセスで使用されていたフォトマスクやパターン生成媒体の必要性を排除する技術であり、フォトレジスト材料の均一な堆積を可能にするために新たに開発されたガスフローのプラスチック分散システムを統合しています。このユニットは高度に自動化されており、使いやすく、オペレータは最大9つのダイのリソグラフィプロセスを同時に素早くセットアップすることができます。高解像度レーザー範囲を利用して、メディアパターニングプロセスの非常に敏感で詳細な要件を考慮し、パターンを形成するために使用されるバインダー部品に低エネルギーのイメージング機能を提供します。また、TEL MARK7には、フォトレジストのイメージングと位置合わせのための自動液晶ディスプレイ（LCD）マシンが搭載されており、9枚の画像すべてで上面イメージングが可能です。この詳細なトップレベルの位置精度は、独自の2次元ステージによって提供され、リソグラフィープロセスの制御と精度を向上させます。このツールは、金型配置の精密なプレートアセンブリとマイクロメートルの精度のための革新的な自己整列プラットフォームを利用しています。これにより、各種基板にフォトレジスト材料を配置する際の高精度を実現します。また、塗布したフォトレジストのひずみや歪みのない均一な成膜を可能にする、大きな塗膜表面積を備えています。さらに、機器、人員、および生産プロセスの安全性を確保するための高度な監視メカニズムが含まれています。このソフトウェアは、低放射率で生産エリア上の任意のオブジェクトを検出するように設計されており、安全基準を改善することができます。TOKYO ELECTRON MARK-7フォトレジストモデルは、リソグラフィープロセスの精度、再現性、安全性を向上させる高度かつ自動化された半導体チップ製造装置です。その高度なイメージング技術と数多くの安全機能により、チップ生産に最適です。