中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098200 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、半導体製造業界に欠かせないフォトレジスト機器です。このシステムはフォトリソグラフィ処理を可能にし、微細なスケールで構造を作成することができます。TEL MARK7はフォトレジストユニットを一体化したもので、複数のコンポーネントを持ち、すべてが互いに統合されて1つのエンティティを形成します。これらのコンポーネントには、フォトレジストスピン、ウェーハトランスポート、プロセスチャンバーなどがあります。フォトレジストのスピンは、半導体ウェーハ表面に溶媒、フォトレジスト、または化学物質を適用してフォトリソグラフィ処理を可能にします。ウェーハはウェーハ輸送によってプロセス室に運ばれ、そこで紫外線にさらされます。このプロセスを通じて、フォトリソグラフィックパターンが形成されます。東京電子MARK-7は、フォトリソグラフィ加工後の半導体ウェーハの洗浄を容易にするために、すすぎとスピンドライモジュールを統合しています。これは、すすぎとスピンドライの2つのステップで構成されています。洗浄モジュールはウェーハからすべての化学物質と材料を除去し、スピンドライモジュールは余分な残留物や液体を除去します。さらに、TEL Mark 7には、さまざまなフォトリソグラフィープロセスを確実に実行できるさまざまな機能が組み込まれています。これには、ウェーハのさまざまな領域を化学材料でエッチングし、プロセスパラメータを制御し、パターンを自動化し、フォトリソグラフィ処理中に正確なウェーハ位置決めを提供する機能が含まれます。TOKYO ELECTRON Mark 7は、半導体部品の製造に有効で信頼性の高いフォトレジスト機です。統合されたフォトレジストコンポーネントは、リンスやスピンドライモジュールを含む1つのユニットで完全なフォトリソグラフィープロセスを容易にすることにより、最大の効率を提供します。さらに、このツールは、フォトリソグラフィープロセスを強化するさまざまな組み込み機能を提供し、最終的にはより良い品質の製品を可能にします。