中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9092964 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7フォトレジスト装置は、集積回路の製造に使用される高度なフォトリソグラフィーシステムです。これにより、回路設計において優れた精度と歩留まりを実現し、チップ製造に最適なツールとなります。TEL MARK7は、半導体ウェーハ表面にフォトレジストコーティングを正確に露出させることができる165mmステッパーを搭載した全自動ユニットです。レチクルの正確なアライメントにも使用できるレチクル段を装備しています。この機械は、1：1再生で10ナノメートル（nm）の精度公差を達成することができます。また、スプレーコーティング、スピニング、ジェット、ディッピングといった高度な加工オプションや、ウェーハ検査システムを備えたTOKYO ELECTRON MARK-7ツールも提供しています。これらのシステムはすべて、エンジニアにプロセスの優れた制御と、製造中に部品を検査する能力を提供します。レジスト露出を制御するモデルでアセットをさらに強化します。露出時間と投与量を正確に制御することができ、エンジニアはバリエーションなしで望ましい抵抗開発を達成することができます。TEL Mark 7は、レシピ、ウェハーマップ、欠陥メトリクスなどの重要なデータをアーカイブするために使用できる組み込み製造実行装置（MES）を備えています。システムは、他のシステムとネットワーク間の通信を可能にするネットワーキング機能でさらに強化されています。要するに、TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 Photoresist Unitは、集積回路を製造する際に高い精度と再現性を持つエンジニアを提供する高度なフォトリソグラフィーマシンです。その機能と機能の組み合わせにより、チップ製造ニーズに最適なツールとなります。