中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #293819131 を販売中

ID: 293819131
ヴィンテージ: 1993
Coater / Developer system 1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、集積回路の開発と製造のために設計されたフォトレジスト機器です。TEL MARK7は高度な光学リソグラフィを備えており、高解像度のイメージングと集積回路の露出を可能にします。また、さまざまな解像度、スピード、スループット、精度設定を備えているため、ユーザーは特定のニーズに合わせてイメージングプロセスをカスタマイズできます。TOKYO ELECTRON MARK-7は、精密光学技術を活用し、高解像度のイメージングと露光を実現しています。低歪みレンズを備えた先進的な光学アライメントユニットを採用し、正確な画像処理を実現しています。また、可変解像度、速度、スループットで動作するため、デバイスの生産効率が向上します。TOKYO ELECTRON MARK 7は、露出用の専用シャッターマシンを備えた高解像度ステッパーを採用しています。これにより、フォトレジスト材料の正確なイメージングと露出が保証されます。さらに、TEL MARK-7はフォトレジスト機能の露出を検出して修正する機能を備えています。マルチコラム調整可能なビームツールを備えており、ビーム露出の高精度補正を可能にします。TOKYO ELECTRON MARK7は、プロセスの精度と再現性を確保するために、デバイスのパラメータを検証するための再現性アセットを組み込んでいます。この再現性モデルにより、高精度で信頼性の高いプロセスを複数回繰り返すことができます。MARK7には、自動化されたプロセスを容易にするためのさまざまなツールやアクセサリーも含まれています。これらのツールとアクセサリには、レーザーアライメントシステム、自動マスクレスリソグラフィーシステム、自動露出制御システム、パターンマッチングおよびフォトレジストディスペンスシステムが含まれます。最後に、Mark 7は最新のソフトウェアサポートを提供します。装置には、ブルーフィールドマッチング、パターンマッチング、パターン分割、フォトレジストディスペンスシステム、およびソフトウェアベースのプロセス設計が含まれます。このソフトウェアベースのプロセス設計により、製造プロセスを作成、最適化、分析、シミュレーションすることができます。結論として、MARK-7は集積回路の開発と製造のために設計された高度なフォトレジストシステムです。高精度で再現性の高い装置製造が可能です。また、自動化されたプロセスのためのさまざまなツールやアクセサリ、およびプロセス設計のための最新のソフトウェアサポートも含まれています。
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