中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #293819130 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7は、電子回路上の細線幅、狭いスペース、高解像度パターンを解決するフォトレジスト機器です。このシステムは、強力なビーム形成ユニット、ビーム偏向および測定システム、レーザー光学および光学部品、スキャンミラー、および正確な位置決めのためのモーションコントロールシステムで構成されています。さらに、高度な自動化およびプロセス制御システムは、次世代半導体デバイスの要求に応えるために、正確な動作と信頼性の高い生産を保証します。TEL MARK7内のビーム開発機は、パターニング用に調整された慎重に成形された出力を生成する一連の高出力レーザダイオードを備えています。このビームは、調整可能なDC注入垂直スケールレーザダイオードアレイと調整可能なレーザダイオードバイアス電流を使用して、振幅で細かく集中して減衰することができます。出力は、ステップタイプと高性能ポジションコントローラによって制御される円筒形レンズの三眼ツールでさらに調整することができます。これらのコンポーネントは、狭い線幅と高精度なビーム配置で、焦点を絞った2次元ビームを正確に形成することができます。アセット内のレーザー光学系は、ビーム生成とたわみを最適化するように設計されています。光学パスのレイアウトは、均質な照明、低歪み、広範囲のスキャンフィールドに最適化されています。高性能ミラーは、ビームのたわみ速度を上げるために使用され、所望の位置に急速に移動することができます。さらに、高精度の角度ミラーにより、精度を保ちながら幅広いビーム方向を可能にします。東京電子MARK-7のスキャン・モーションコントロールシステムは、必要なパターンを生成するために、ビームの正確で低ノイズスキャンを提供します。高性能サーボモータのシリーズは、正確な動きのために同期され、モーションコントローラは、高速サンプリングと微細な分解能制御を提供することができます。このモデルは、フォトレジストの所望の焦点、速度、強度にビームを正確に配置することができます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7内のプロセス制御システムは、次世代半導体デバイスの要求に応える高い生産信頼性を実現するよう設計されています。ソフトウェア制御のフォトレジストとプロセスプロセスにより、メンテナンスフリーの操作が可能です。フォトレジスト汚染を防ぐフィードバック装置を搭載し、フォトストップ精度を確保するフィードバック回路も備えています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7フォトレジストシステムは、細線幅、狭いスペース、均一な照明で高解像度の画像を提供できる強力なユニットです。強力なビーム形成機械、ビーム偏向および測定システム、レーザー光学、スキャンミラーおよびモーションコントローラ、および高度のオートメーションおよび制御システムは精密な操作および信頼できる生産を保障します。