中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 5z #9222497 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 5zは、半導体製造の開発、搬送、エッチング、解析に使用される先進的なフォトレジスト機器です。誘電体、金属、フォトレジスト層のリソグラフィ機能を提供します。高度な光学ズームユニットを搭載し、高い精度でフォトレジスト機能を正確にターゲティングできます。さらに、UV露出モジュールと高精度で迅速な露出時間を持つUVステッパーを搭載し、高スループットのアプリケーションに対応します。このツールは、画像認識のための高解像度スキャンアセットを使用しており、低ノイズで素早く画像を取得できます。また、プリアライメント、自動チルト、ウェーハ間の自動アライメントも備えており、機能の正確なターゲティングが可能です。TEL Mark 5zの成果物は、現在の半導体リソグラフィープロセスの要求を上回っています。統合された画像測定機能により、最適な精度でスムーズな操作フローを実現し、完全な画像精度を実現します。さらにオートフォーカス調整機構を搭載し、環境条件が変化してもフォトレジスト層の「オンターゲット」に留まるようにしています。安全の観点からTOKYO ELECTRON MARK 5zは、特定のニーズや条件に合わせて調整できる複数の安全レベルで安全に使用できるように設計されています。装置は密閉されたドアが付いている特別な反振動の構造を使用して操作の間にユーザーおよび装置を保護し、環境汚染が部屋かレチクル区域に入ることを防ぎます。また、空気浄化装置、UV不透明度センサ、イオン注入機などの環境保護機能を備え、フォトレジスト層のクリーンで安全な動作を保証します。最後に、Mark 5zは、操作パラメータの簡単なパターンプログラミングと監視を容易にするために、複数の機能を備えた包括的なユーザーインターフェイスツールを提供しています。また、遠隔地からマシンの状態、操作パラメータ、パターンプログラミング情報にリモートでアクセスできるネットワーク機能も備えています。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON MARK 5zは、誘電体、金属、フォトレジスト層用途において最高の精度、精度、安全性を提供する高度なフォトレジスト資産です。UV露光モジュールとUVステッパーにより、高スループットのアプリケーションを容易に処理でき、統合された画像測定機能により、最適な精度で完全な画像精度を得ることができます。さらに、このモデルは、複数の安全レベルと環境保護機能を備えた安全な動作を保証し、マシンの状態、運用パラメータ、およびパターンプログラミング情報をリモートアクセスするための包括的なユーザーインターフェイス機器とネットワーク機能を備えています。