中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 5 #9394083 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 5フォトレジスト装置は、ファインピッチ光学パターンや高密度インターコネクトの開発を中心とした半導体製造プロセスにおいて重要な部品です。TEL Mark 5は、幅広い基板用抵抗画像の開発をサポートし、光学パターン画像の最適化を可能にします。システムは露出装置とコントロールコンソールの2つの部分で構成されています。露出機は、ミラーパネル、ランプハウジング、レンズマウント、スキャニングツールを内蔵した光学テーブルで構成されています。光テーブルは、光アセットのためのフラットで安定したプラットフォームを提供します。ミラーパネルはレーザー源からのレーザー光線がミラーパネルから十分に反射し、それから基質の中心を直接露出するように高精度で形成されます。ランプハウジングは、レーザーとレンズマウントの動作に最適な環境を提供し、レンズマウントは露光プロセスに必要なレンズの最適な位置を保証します。スキャンモデルには、レーザー光源、反射鏡、ガルボミラーが含まれています。レーザー光源は、優れたビーム均一性、明るさ、精度で幅広い波長を放射することができます。反射ミラーは、基板を正確に整列させる一連のスキャンラインを生成し、ガルボミラーはスループット速度を向上させる役割を果たします。制御コンソールユニットは、東京エレクトロンマーク5フォトレジスト装置のエンジンとなります。プロセスパラメータの理解と制御に必要な温度制御と安全モニターを備えています。また、組み込み型のユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、システム設定に簡単にアクセスでき、お客様の要件に合わせて最適化することができます。さらに、制御コンソールはプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を備えており、さまざまなユニットパラメータの自動クローズループ制御を提供します。要約すると、Mark 5フォトレジストマシンは、高精度の光学パターンを開発するための汎用性の高いツールです。洗練された露出アセットと強力なコントロールコンソールを備えており、さまざまなパラメータを最適化できます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK 5は、高度な機能と信頼性を備え、現在の半導体メーカーに最適なモデルです。