中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9399593 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体材料の加工に関わるマイクロチップなどの高速・高精度生産を可能にするフォトレジスト機器です。このシステムは、従来の方法では複製が困難なパターン化された表面を、レーザー照射光源を使用して生成するフォトレジスト技術です。このユニットは、複数のプロセスを組み合わせてこれらのパターン化されたサーフェスを作成します。プロセスの最初のステップでは、半導体材料は、光への暴露で硬化する光感受性材料であるフォトレジストの薄い層で覆われています。次に、レジスト層がレーザー光源にさらされ、基板上にパターン化された絶縁層が作成されます。このパターンは、追加の材料の適用によって基板に転送されます。TEL Lithiusマシンは、従来のフォトリソグラフィ方法よりもいくつかの利点を提供しています。これらの利点のうち最も重要な点は、より高速で高精度な結果をもたらす能力です。このツールは、約1/4ミクロンのピッチ精度を向上させることができます。この資産は生産性も向上し、全体的にプロセス時間が短縮されます。このモデルはまた、高速なデータ転送レートで高速プロトタイピングを可能にする、使いやすいインターフェイスの利点もあります。さらに、内蔵の故障検出機能により、プロセス全体の制御と精度が向上します。日本を拠点とするTELは、フォトリソグラフィや半導体製造分野のイノベーターとして世界的に有名です。東京エレクトロンリチウスは、これまでにも先進的な手法や技術を導入してきました。リチウスシステムは、半導体材料の製造に使用される場合、高い信頼性、一貫性、精度を提供します。より速く、より正確なプロセスを提供し、生産性を向上させます。これにより、半導体生産のための非常に費用対効果の高いソリューションとなります。ユーザーコントロールの容易さと高い転送データレートにより、プロトタイピングと大量生産の両方に適しており、高度なフォトレジストユニットを求めるあらゆる企業にとって魅力的な選択肢となっています。