中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9397193 を販売中
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ID: 9397193
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
System, 12"
Material / Chemical:
PR, HMDS, Thinner, DEV
ArF Sub-process
Operating system: LINUX / Windows
SMIF
Hardware composition:
Load module:
(4) TEL Lithius load ports
(1) TEL Lithius loader arm
(5) TEL Lithius transfer robot arms
Process module:
Chamber
Pump
RF Generator
Gas box
PC
Utility:
Distribution panel
THC
Chiller
Chemical box
ETC
Parts and tool
Module:
(8) PM1 Soft bakes
(4) PM2 ARC bakes
(8) PM3 PEB
(3) PM4 Hard bakes
(3) PM5 ADH
(5) PM6 COT
(5) PM7 DEV
(1) PM8 WEE
PM9
Litho tool:
Lens
Laser
Light source
Alignment
Power
Process: HT-PYRO (1250C)
Safety: TEL Standard
Layout type: U/Box
Tool direction: LL
Front furnace body: Coating (FDP Standard)
Heater (Range of temperature): High VMU-40-007EXT(41) [850-1250°C]
Process:
Pressure: ATM
Temperature: 1250°C
Wafer / Cassette transport:
SEMI Standard - Notch, 12"
T/S Wafer jump out detection
Fork type / Material: 1+4 / Al203
Wafer In / Out order: ED -> P -> M / M -> P -> ED
Cassette:
Miraial (MK-823S-H)
Slot: 26
Stocker: 21
Monitor cassette:
In P1, P2, M / Out P1, P2, M
Fork :
Wafer detection
Wafer displacement detection
Pitch conversion
Missing parts:
S/V ADH256 Chamber coat error
DEV303 AOV Bath rinse
DEV303 AOV Firm rinse
IRAS R-Axis driver
Port clamp cylinder
COT201, COT203 Spin chuck
LHP Temperature board
Mapping arm assembly
WEE Fan
L-Arm Z-motor
IRAS Z-Driver
IRAS Y-Driver
IRAS X-Driver
IRAS X-motor
UPS Battery swap
Control power supply swap
EC Controller swap
CRA Cover, ITL Switch
Ejector
Y-Driver
X5 Cable
DEV 301 Spain I/O Board
(2) Borads, COT MTR
4-Ports assembly
Hard Disk Drive (HDD)
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、さまざまな製造工程で使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、さらなる加工または製造工程のための基板を準備し、処理するために使用されます。TEL Lithiusは、テクノロジーソリューションプロバイダーであるTELが開発した次世代フォトレジストシステムです。このユニットにより、お客様は数歩でレジストプロセスを開発することができます。高解像度マイクロリソグラフィーの解像度と焦点深度を向上させながら、正確なパターン制御を提供できます。この機械は、プロセスのスループットを向上させ、さまざまなフォトリソグラフィープロセスの収率を向上させることができます。Lithiusは、薄膜イメージング、深紫外光リソグラフィ、原子ビームリソグラフィなどの高度なリソグラフィ技術を実行することができます。また、フォトパターニングもサポートしています。これは、単一のマスクを使用して、単一のウエハ上の高解像度パターンをパターン化する技術です。このツールは、電子ビーム源、固体浸漬レンズ、可変数値開口、および統合された客観投影レンズなど、いくつかの先進技術を利用しています。この技術の組み合わせにより、アセットは他のフォトレジスト技術と比較してより高い解像度と細かいパターンを生成することができます。このモデルは使いやすく操作できるように設計されており、顧客はプロセスを調整するために素早く変更できるパラメータやレシピを選択することができます。この機器は、お客様の特定のニーズに合わせた柔軟性を提供します。このシステムは、強化された膜厚制御、より大きなビーム電流エンベロープ、および基板材料性能の向上を提供します。これらの機能により、スループットが向上し、正確なパターニング結果が得られます。Lithiusは、有機太陽電池モジュール、高密度インターコネクト、マイクロ流体、および高度な基板などのチップメーカーやその他の製造アプリケーションに最適です。このユニットは、インプラント、パターニング、ドライエッチング、ウェットエッチングなど、さまざまなプロセスに使用できます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、フォトリソグラフィープロセスを合理化および改善するように設計された強力で汎用性の高いフォトレジストマシンです。スループットと歩留まりを向上させた高度なツールをお探しのお客様に最適なソリューションです。
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