中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9397192 を販売中
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ID: 9397192
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
System, 12"
Material / Chemical:
Operating system: LINUX / Windows
SMIF
Hard Disk Drive (HDD) missing
Process: HT-PYRO (1250C)
Safety: TEL Standard
Layout type: U/Box
Tool direction: LL
Front furnace body: Coating (FDP Standard)
Heater [Range of temperature]: High VMU-40-007EXT(41) [850-1250°C]
Process:
Pressure: ATM
Temperature: 1250°C
Wafer / Cassette transport:
SEMI Standard - Notch, 12"
T/S Wafer jump out detection
Fork type / Material: 1+4 / Al203
Wafer In / Out order: ED -> P -> M / M -> P -> ED
Cassette:
Miraial (MK-823S-H)
Slot: 26
Stocker: 21
Monitor cassette:
In P1, P2, M / Out P1, P2, M
Fork :
Wafer detection
Wafer displacement detection
Pitch conversion
Hardware composition:
Load module:
(4) TEL / SEMES Standard load ports
(1) TEL / SEMES Standard loader arms
Transfer module (platform):
(5) TEL / SEMES Standard transfer robot arms
Process module:
TEL / SEMES Chamber process module specification
(17) Pumps
RF Generator
Gas box
PC
Utility:
Distribution panel
THC
Chiller
(2) Chemical boxes
ETC
Parts and tool
Module:
(4) PM1 Soft bakes
(5) PM2 PEB
(5) PM3 Hard bakes
(3) PM4 ADH
(5) PM5 COT
(5) PM6 DEV
(1) PM7 WEE
(1) PM8
(1) PM9
Litho tool:
Lens
Laser
Light source
Alignment
Power
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体・電子関連部品の製造・製造に使用される最先端のフォトレジスト機器です。フォトレジストは、さまざまな微細加工およびフォトリソグラフィープロセスで使用される光感受性ポリマーです。TEL Lithiusシステムは、液晶ディスプレイ（LCD）イメージセッタ、アライナー、ステッピングツール、トラックユニットの4つの主要コンポーネントで構成されています。LCDイメージセッタは、高度な光学系を使用して高精度のイメージマスクを生成します。生成された画像データは、レイアウトと呼ばれ、LCDディスプレイにプログラミングされます。その後、レイアウトがフォトレジストコーティングされたウェーハに投影され、リソグラフィー処理が開始されます。ピンポイント精度を確保するために、LCDイメージセッタは8倍の倍率でテストされており、精密部品の製造に重要な1ミクロンよりも優れたアライメント精度を備えています。アライナーは、フォトレジストコーティングされたウェーハをステッピングツールに正確に配置するために使用されます。これは、ビジョンマシンとウエハハンドラで実行され、どちらも所定の手順でウェハを迅速かつ正確に移動することができます。アライナーはまた、フォトレジストコーティングされたウェーハが整列されている間、パターンの混乱を最小限に抑えるためにローカル電極アトマイザー（LEA）ツールを使用しています。ステッピングツールは資産の中心です。それはモーターを備えられた基盤、精密段階および高解像度の顕微鏡が付いている高度のステッピングヘッドから成っています。ステッピングヘッドは照明を制御し、ステッピングツールに電力を供給する責任があり、ベースはウェーハの安全で正確な移動を可能にします。この顕微鏡は、フォトレジストコーティングされたウェーハの位置決めとアライメントを可能にし、1ミクロンの10分の1のサイズの画像処理が可能です。TOKYO ELECTRON Lithiusモデルの最後のコンポーネントは、トラック機器です。これは、フォトリソグラフィープロセス中に使用される化学物質の分布に責任があります。このトラックは、andeveloperやphotoresistなどの化学物質を正確な順序で適切なワークステーションに配分するプラットフォームシステムです。これは、生産プロセスの均一性と精度を確保するのに役立ちます。要約すると、Lithiusユニットは、半導体やその他の電子関連部品の製造に使用される最先端のフォトレジスト機械です。LCDイメージセッタは正確な画像位置決めとアライメントを提供し、アライナーはフォトレジストコーティングされたウェハの正確な位置決めを容易にします。ステッピングツールは正確なイメージングと制御を保証し、トラックツールは整然とした均一な方法で化学物質を配分します。これらのコンポーネントを組み合わせることで、フォトレジスト被覆部品が正確かつ効率的に製造されることを保証します。
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