中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9391711 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、精密な光学リソグラフィープロセスを可能にするフォトレジスト機器です。フォトレジストは、マイクロエレクトロニクスの製造においてパターンを作成するために使用される、赤外線感受性または可視光感受性材料です。システムは、パターン化された光ビームにレジスト（特定の種類の材料に耐性のある材料）を露出することによって動作します。その後、レジストは適切な溶剤で開発され、レジストの露出した部分が除去されます。レジストの残りの露出領域は、マイクロエレクトロニクスの製造において希望するパターンを定義するために使用されます。TEL Lithiusはいくつかのコンポーネントで構成されています：1）レジストチャンバー：これはレジストが光にさらされ、ユニットの最も重要な部分になります。レジストチャンバー内には真空ポンプとコンデンサーレンズがあり、レジストの厚さを30〜40％削減するのに役立ちます。これにより、リソグラフィープロセスの効率と精度が向上します。2）マスクアライナー：これは、露出プロセスのステンシルとして機能するマスクを制御するために使用されます。マスクアライナーは、マスクをレジストと正確に整列させることができ、所望のパターンが達成されることを確実にするのに役立ちます。3）拡散器/ビーム形成光学：この部品は抵抗の部屋に送られる前にライトのビームを形作るのを助けます。ビームを正しく形成することで、より高い解像度のパターンを生成するのに役立ちます。4）波形発生器：この部品は抵抗の部屋の光学設定を制御するために責任があります。5）パターンジェネレータ：このコンポーネントは、レジストで希望のパターンを作成するために使用されるパターンの生成を担当します。6）モニタリングマシン：このコンポーネントは、ツール内のすべてのコンポーネントが正しく機能していること、およびレジストチャンバー内の条件が高品質のパターンを生成するために最適であることを確認する責任があります。東京エレクトロンは、精密な光学リソグラフィープロセスを実現するための先進的で信頼性の高い資産です。半導体製造、医療機器、その他のハイテク部品の製造に広く使用されています。このモデルは使いやすいように設計されており、信頼性の高い結果と優れた解像度をユーザーに提供します。