中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9365931 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 9365931
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
Track system, 12" 2008 vintage.
TEL LASER TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、東京エレクトロンが開発したフォトレジスト機器です。フルフィールド露光ツールとトラックユニットを組み合わせたシステムで、多数の部品を迅速かつ正確に製造できます。まず、Laser TEL Lithiusマシンは405mmの波長で約460mWの光源を提供し、迅速な露光時間と高速な処理速度を可能にします。レーザーアライメントの精度はまた、0。4 μ mの明確な解像度と精度を提供します。これにより、高精度を必要とする製造プロジェクトで高精度を達成することが非常に簡単になります。レーザーアライメントも非常に低ノイズです。つまり、HDIのような高水準の画質のアプリケーションに使用できます。レーザーはわずか150〜600 μ mの小さなスポットサイズを備えているため、通常の露光ツールよりも精度の高い複雑な特徴と表面パターンに完全に適しています。Laser TOKYO ELECTRON Lithiusの露出も正確に指示することができ、高い向きと精度を必要とする多数のパターンに最適です。フォトレジストコートは、レーザーリチウスツールでも非常に効率的です。フォトレジストは、最大12 μ mの厚さと最大2 μ mの広がり幅で適用されます。これにより、完成品との強固な結合を可能にし、より良い品質の画像を確保し、加工中に部品がうまく接続され安定していることを保証します。Laser TEL/TOKYO ELECTRON LithiusアセットにはDigital Mulitplexオプションも用意されています。これにより、処理時間が短縮され、他のシステムと比較して部品のスループットが向上し、部品の生産における柔軟性が向上します。最後に、モデルはまた、それが多数のプロセスに最適にする機能の広い範囲を持っています。これらの機能には、トラック清浄度、ストレスリリーフプログラム(SRP)、高速データ転送、および自動スコープ選択(部品が露出する必要があるものの自動選択)が含まれ、すべて製造プロセスの効率と精度が向上します。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON LASER TEL Lithiusは非常に強力なフォトレジスト装置で、複雑な部品の製造に高い精度と速度を提供します。これは信頼性が高く汎用性が高く、高精度を必要とする部品を製造しようとする企業にとって理想的な選択肢です。
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