中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9362659 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体デバイス製造に使用されるフォトレジスト機器です。フォトマスクやデバイスの量産に特化したハイエンドリソグラフィーシステムです。このユニットは、特許取得済みのマルチビーム技術をベースにしており、小型でも高精度なパターニングが可能です。また、高スループットでも最大5nmの解像度でパターンを生成することができます。このツールは、スキャナ、露出ツール、およびイメージング資産で構成されています。スキャナは、目的のパターンを露出するために、制御された方法で基板をイメージングモデルの上に移動します。露出ツールを使用すると、パターンの強度と焦点を制御できます。これにより、幅広いプロセス条件に対応しながら高精度を実現します。イメージング装置は、検出器、イメージプロセッサ、ファインステッピングモータで構成されています。検出器は、フォトマスクからパターン情報を収集して抽出します。イメージプロセッサは、目的の構造を構築するためにデータを整理し、操作します。微細なステッピングモータは、高精度のパターニングを確実にするためにイメージングシステムを整列させ、集中させます。TEL Lithiusレジストユニットは、ポジティブフォトレジストとネガティブフォトレジスト、ポジティブトーンとネガティブトーンフォトレジスト、さらには有機光化学など、さまざまなフォトレジストをサポートしています。また、プロセス制御アルゴリズムを簡単に統合して歩留まりを最大化し、コストを節約できます。最後に、自動汚染検出ツール、緊急安全シャッター、パッシブセキュリティアセットなどの安全機能も備えています。これらの機能は、モデルが常に安全で動作し続けることを保証します。TOKYO ELECTRON Lithiusは、小型でも高精度なパターニングが可能な汎用性と信頼性の高いフォトレジスト機器です。さまざまなアプリケーションに適したフォトレジストや、簡単な統合プロセス制御アルゴリズムを提供します。最後に、ユーザーが潜在的な事故から保護されるようにするためのさまざまな安全機能が付属しています。