中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9361840 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体製造の高度なプロセス向けに設計されたフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、電気信号の駆動に使用される回路パターンを作成するためにチップ製造で広く使用されています。フォトレジストシステムの主な機能は、化学反応および/または物理的な力によって、エッチング（化学的または物理的手段による材料の除去）と沈着（連続的に材料を追加する）を可能にすることです。TEL Lithiusは、0。001\\m（ミクロン）の精度に保持された幅広いエッチングパラメータ上のマイクロサイズのウェーハのエッチングを可能にします。さまざまなアップスケーリングソリューションを使用して、最大3インチウェーハを処理できます。システムは3つのステップで動作します：最初はフォトレジストのパターニング、次に材料を除去するためのフォーカスエッチング、そして最後にパターン化された空間を埋めるための選択的な堆積です。東京電子リシウスは、高度なリソグラフィープロセスを包括的にサポートします。これは、ユーザーが正確なサブミクロン回路パターンを作成することができます高度な電子ビームユニットを含む光学系の範囲をサポートしています。このマシンは、あらゆるドリフトを補償する精密な光学分解能で高精度に設計されています。さらに、高精度の傾斜ステージにより、最大0。1度の分解能で基板を傾けることができ、ウエハの均一性を高めます。Lithiusは、高いエッチング率、高い選択性、およびチャンバー汚染に対する低い感受性を提供することができます。高度なエッチング技術とガス制御により、アークや反応スパッタなど様々な効果が得られます。TEL/TOKYO ELECTRON LITHIUSは、ガス配送、真空メンテナンス、消費モニタリング、クリーニング/モニタリングサイクルなどのすべてのプロセスを自動化する機能を備えた高効率で費用対効果の高いフォトレジスト資産です。
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