中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9358674 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは半導体製造のフォトレジスト機器です。フォトレジスト（Photoresist）とは、半導体業界での応用に適した特性を持つ材料を、放射線にさらされたときに化学反応させて変形した形態を作り出す光感受性ポリマーです。TEL Lithiusシステムは、半導体産業におけるリソグラフィに関連するフォトレジストプロセスを専門としています。レジスト分解プロジェクターを使用して、赤外線光源で基板を露出させます。プロジェクターにはレーザースキャナーを装備し、より細かいレベルのディテールでフォトレジストを照射することもできます。露光時間、光強度、フォーカス精度を高精度に制御します。また、アライメント、表面欠陥制御、予備前処理などのフォトレジストの制御も可能です。プロセス中、温度と湿度の度合いは厳密に制御され、環境が変化しても均一な結果が得られます。露出装置は自動組立ラインと組み合わせることができます。これは、ジョブごとにユーザー定義の設定で、さまざまな基板をサポートしています。適切な構成で少量生産に使用できます。これは、レーザービーム書き込みや電子ビーム描画などの高度な技術をユーザーに提供します。結果の最高品質を確保するために、このツールは現場で実績のあるデータ資産で設計されています。これにより、露出プロセス中にリアルタイムでアクセスでき、露出後のデータを安全なモデルで確認できます。この機器は、高精度、高スループット、および製品セキュリティのためのデータ保護を備えています。コンセプトから製造まで幅広い分野で優れた結果を提供します。ユーザーをサポートするために、システムは継続的なテクニカルサポート、専門的な相談サービス、および高度なトラブルシューティングを提供します。東京電子リチウスフォトレジストユニットは、あらゆる半導体生産環境に最適です。高レベルの精度、生産への合理化されたアプローチ、スループットの向上、データセキュリティを提供します。その高度な機能により、半導体デバイスの製造にフォトリソグラフィを必要とするアプリケーションに最適です。