中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9355521 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体ウェーハの加工用に設計されたフォトレジスト機器です。フォトレジストは、基板にパターンや構造をエッチングまたは開発するために表面に適用される光感受性材料です。TEL Lithiusは、重要なプロセスのための最小限の汚染で正確な基板パターンを提供するために構築されています。このシステムの中核は独自の光源であり、高強度の深紫外線（DUV）光のコリメートされた均一な線を生成します。この光源は、制御された光学エネルギーでフォトレジスト層を直接露光するために使用されます。基板のパターン化は、精度とバリエーションを最小限に抑えるクローズドループ環境で行われます。また、基板の温度を調節してプロセスパラメータを最適化する自動温度補償ユニットを搭載しています。このマシンはモジュール式で、ユーザーはそれぞれのアプリケーションに合わせてツールをカスタマイズできます。さまざまな種類の基板を加工するためにカスタマイズされたさまざまなモジュールが付属しています。これらのモジュールには、真空チャック、スピナー、トラック、スキャナーが含まれます。真空チャックは、基板を移動して密閉するためのプラットフォームとして機能します。スピナーモジュールは、光源がフォトレジストを360度パターンで照らすように基板を回転させるために使用されます。トラックモジュールは、必要なパターンで基板を移動するために使用されます。基板を正確に動かすために、光源と基板の位置を追跡します。スキャナーモジュールを使用して、大きな基板を処理して非常に小さなパターンを生成することができます。Lithiusの自動ソフトウェアにより、ユーザーは特定のパターン設定を簡単にプログラムできます。人工知能アルゴリズムを使用して、処理を高速化するための最適化された設定を提案します。このアセットには、ユーザーが複雑なパターンを素早くプログラミングできる「ティーチアンドリピート」機能も含まれています。これらの特徴はすべて、TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusモデルを、複雑で精密な基板パターニングのための強力で信頼性の高いツールとしています。堅牢な設計と汎用性の高いモジュールにより、半導体加工から医療アプリケーションまで、さまざまなアプリケーションに適応できます。