中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9355511 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、高精度フォトリソグラフィープロセス用の高性能フォトレジスト装置です。ウェーハ表面に超微細構造を作成し、半導体部品を作成するために使用されます。このシステムは、レーザーベースの露光プロセスを6軸で利用し、高精度な光学露光のために多波長UV光源を利用しています。TEL Lithiusは、テーブルトップレジストコーティングユニットとレーザーベースの露出ユニットで構成されています。レジストコーティングユニットは、フォトレジスト層が均一で一貫していることを保証するために、さまざまなコーティング方法とコートウェイトを提供します。このマシンに採用されているフォトレジストは、正から負のフォトレジストに変化する可能性があり、反射防止およびエッチング耐性コーティングも含まれています。レーザーベースの露光プロセスは、一連のレンズとミラーと高強度のイメージング装置によって生成されます。レーザーベースの露光プロセスは、線形光学とアライメント技術のユニークな組み合わせを利用して、より高い精度と再現性を実現します。可変構造イメージング技術も利用可能で、3D効果を作成するために基板上のさまざまな高さでイメージングすることができます。露光ツールは、さまざまなフォトレジスト材料に対応するために、複数の波長光学系で構成することもできます。Lithiusは、既存のイメージングシステムや現在および今後の機器と互換性があります。また、複数のウエハサイズと基板に対応するための幅広い資産柔軟性を提供します。さらに、このモデルは堅牢なカスタマーサービスネットワークと工場出荷時のサービスサポートによってサポートされています。全体として、Lithiusは最先端の半導体構造の製造に最適です。ユーザーフレンドリーなインターフェース、調整可能なリニアステージ、強力なイメージングシステム、多波長オプティクスにより、精密リソグラフィープロセスに最適な機器です。このシステムは、さまざまなデバイスの開発と生産の要件を容易に満たすことができます。