中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9315797 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体デバイス製造のためのフォトレジスト機器です。LED露光モジュール、シャッターモジュール、液晶デバイスのパターンジェネレーター、光学組立、ウエハハンドリングシステムなど、高度なリソグラフィ要素をベースにしています。これらのコンポーネントを組み合わせることで、リソグラフィープロセス中のフォトレジストの信頼性と一貫した配信が可能になります。LED露光モジュールは、ウエハーの表面にフォトレジストを露出させるために、紫外線を利用しています。このモジュールは、非常に短い露光時間で高品質の画像を生成することができます。これに加えて、光強度を正確に制御し、より小さなサイズでもフォトレジストの詳細なパターニングを可能にします。シャッターモジュールは、正確なウェーハアライメントと露出制御に使用されます。電動ユニットを搭載しており、加工時の露出を遮断するための位置調整が可能です。これにより、露出プロセス中に不要な機能がウェーハに印刷されないことが保証されます。液晶デバイスのパターンジェネレータは、複雑なフォトレジストパターニングに使用されます。高い（5 μ m）空間分解能パターンジェネレータボードと高速（kHz）液晶デバイスを組み合わせて動作します。この組み合わせにより、パターンの均一性を正確に制御することができ、ウェーハ上に不均等に表示されるパターンがないことを保証します。TEL Lithiusの光学アセンブリは、非常に高い光強度と広い波長を確保する高品質のレンズとボードで構成されています。LED露出モジュールと組み合わせることで、ウェーハ表面のフォトレジストの非常に滑らかで均一な露出を実現します。最後に、このツールのウェーハハンドリングマシンは、露出プロセス中にウェーハが静止していることを保証します。このアセットには、正確なウェーハアライメントと位置決めに使用できるxyzモーションステージ付きの制御磁場が装備されています。これは、リソグラフィープロセス中のウェーハの動きがパターンに影響を与え、パフォーマンスの偏差につながるため、重要です。結論として、東京エレクトロンリチウスは、ウェーハ表面におけるフォトレジストの信頼性と一貫した露出を可能にする、高度なフォトレジストスイートで構成された高度なフォトレジストモデルです。パターニングの精度とディテールは、最も複雑な半導体製造タスクにも適しています。